(一)清潔室之等級
世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E跟世界上其它各國制訂標準作介紹與彼此比較。凈化等級塵粒最大允許數/立方米≥0.5μm塵粒數,500，≥5μm塵粒數0，微生物最大允許數浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，清潔室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3….依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數量字是以每破方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數量字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。凈化等級塵粒最大允許數/立方米≥0.5μm塵粒數,500，≥5μm塵粒數0，微生物最大允許數浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。 清潔網z:Wg1pj
美國聯邦標準FS 209D都以英制每破方英呎為單位，日本則是采取公制，即以每破方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每破方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。

　　(二)清潔室之定義
清潔室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清潔室。　「清潔室」是指將一定空間范疇內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之沾染物消除，并將室內之溫度、清潔度、室內壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動及照明、靜電把持在某一須要范疇內，而所給予特別設計之房間。亦即是不管外在之空氣前提如何變更，其室內均能俱有堅持原來所設定請求之清潔度、溫濕度及壓力等機能之特點。
清潔室最重要之作用在于把持產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的清潔度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間咱們稱之為「清潔室」。
　　(三)清潔室控管之名目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2. 能避免微塵粒子之產生。

　　3. 溫度跟濕度之把持。

　　4. 壓力之調節。

　　5. 有害氣體之消除。

　　6. 結構物與隔間之氣密性。

　　7. 靜電之防制。

　　8. 電磁煩擾防備。

　　9. 保險因素之考慮。

　　10. 節能之考量。凈化等級塵粒最大允許數/立方米≥0.5μm塵粒數,500，≥5μm塵粒數0，微生物最大允許數浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。